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高功率藍(lán)紫光半導(dǎo)體激光器及其光場勻化研究

作者:王玉; 張玲; 楊盈瑩; 于海娟; 高瑀含; 白云瑞; 楊松; 鄒淑珍; 董連和; 林學(xué)春 長春理工大學(xué)光電工程學(xué)院光電工程國家及實(shí)驗(yàn)室教學(xué)示范中心; 長春130022; 中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所全固態(tài)光源實(shí)驗(yàn)室; 北京100083; 中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所光電系統(tǒng)實(shí)驗(yàn)室; 北京100083

摘要:設(shè)計(jì)并實(shí)現(xiàn)了一種高功率、高光場均勻性的藍(lán)紫光半導(dǎo)體激光器。采用光纖耦合技術(shù),將28只輸出功率為350mW的半導(dǎo)體激光器的輸出激光,通過非球面透鏡分別耦合進(jìn)纖芯直徑為400μm、數(shù)值孔徑為0.22的光纖中,光纖經(jīng)捆綁合束進(jìn)行功率擴(kuò)展后輸出功率達(dá)8.1W。利用Zemax軟件設(shè)計(jì)了復(fù)眼透鏡組對激光光場進(jìn)行整形勻化,仿真結(jié)果表明,光場均勻度從勻化前的48%提高到勻化后的86%,實(shí)驗(yàn)測量光場均勻度達(dá)到84.4%。為高精度3D打印技術(shù)提供了一種理想光源。

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半導(dǎo)體光電

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