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TFT基板玻璃清洗工序水循環(huán)系統(tǒng)雜質(zhì)去除淺析

作者:趙虎; 邱大戰(zhàn) 鄭州旭飛光電科技有限公司; 鄭州市450016

摘要:TFT基板玻璃生產(chǎn)過程中清洗工序通過盤刷、滾刷、二流體、超聲波等單元清洗基板玻璃表面,去除掉生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的玻璃粉、研磨粉、紙粉等雜質(zhì),每個(gè)單元都需要大量水沖淋基板玻璃,為節(jié)省用水量,水通過水箱濾芯過濾后循環(huán)使用,根據(jù)水中雜質(zhì)含量的不同濾芯的過濾精度也不同。普通過濾系統(tǒng)只有一個(gè)濾芯過濾,濾芯負(fù)載大,過濾能力弱。含有導(dǎo)流槽的過濾系統(tǒng)在濾芯前方增加一個(gè)導(dǎo)流槽,將大的雜質(zhì)和顆粒從水中剝離出來,減輕了濾芯的負(fù)載,提高了水循環(huán)系統(tǒng)去除雜質(zhì)能力,延長了濾芯的使用壽命,提升了水的水質(zhì)。

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