摘要：介紹了CVD金剛石厚膜的不同生長(zhǎng)工藝的優(yōu)缺點(diǎn)，并采用新型熱絲CVD工藝生長(zhǎng)出金剛石。新工藝生長(zhǎng)出的熱絲CVD金剛石具有成核密度高、晶粒細(xì)小、組織致密、孔洞缺陷和雜質(zhì)少等優(yōu)點(diǎn)，是CVD金剛石刀具的理想材料。