投影光刻機調(diào)平調(diào)焦系統(tǒng)原理與故障分析
作者：張文雅; 趙英偉 中國電子科技集團公司第十三研究所; 河北石家莊050051
摘要：以某型投影光刻機為例介紹了調(diào)平調(diào)焦系統(tǒng)的基本原理和主要構(gòu)成,詳細敘述了調(diào)平調(diào)焦系統(tǒng)的運行步驟,并結(jié)合多年的投影光刻機維修經(jīng)驗總結(jié)了調(diào)平調(diào)焦系統(tǒng)的常見故障,給出了處理故障的方法和步驟。
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