摘要：本文對壓電驅(qū)動微泵的工作特性進(jìn)行了系統(tǒng)測試,利用高壓方波信號源產(chǎn)生頻率和電壓可調(diào)的信號來驅(qū)動微泵,采用高精度電子秤測量固定時間(10s)內(nèi)微泵輸送液體的質(zhì)量大小;并對工作特性進(jìn)行相關(guān)分析,總結(jié)了壓電微泵的輸送流量隨液體黏度、驅(qū)動電壓和驅(qū)動頻率之間的關(guān)系。結(jié)果表明,在相同的驅(qū)動條件下,液體黏度越大,壓電微泵輸送的流量越小;在固定的驅(qū)動電壓下,當(dāng)驅(qū)動頻率為泵膜的諧振頻率時壓電微泵輸送的流量最大,高于或低于驅(qū)動頻率時輸送的流量越來越小;在固定的驅(qū)動頻率下(諧振頻率),壓電微泵輸送的流量隨驅(qū)動電壓的升高而增加。研究結(jié)果為壓電微泵的優(yōu)化設(shè)計和實際應(yīng)用提供了依據(jù)。