摘要：使用對(duì)太赫茲波段有吸收效應(yīng)的摻雜硅設(shè)計(jì)光子晶體結(jié)構(gòu),使得在光子帶隙內(nèi)的光波被吸收,并加上金屬反射鏡面將光子晶體的吸收峰和法布里.珀羅(F.P)諧振吸收峰結(jié)合,使此結(jié)構(gòu)在0.29~0.31THz波段達(dá)到寬頻吸收,并且在0.31~0.34THz波段通過測(cè)量光子晶體的反射率可以計(jì)算出對(duì)應(yīng)溫度。在使用商業(yè)電磁仿真軟件CST2014仿真和優(yōu)化參數(shù)后,反射率對(duì)應(yīng)溫度變化的變化范圍是0.09~0.36,即最大值與最小值有4倍之差,這一特性表明,此結(jié)構(gòu)的反射率變化隨溫度變化十分明顯,是一款十分靈敏的溫度傳感器。此外,在入射角不大于40°時(shí),結(jié)構(gòu)性能依然良好。