摘要：研究了不同鈀銀合金原子比例復(fù)合膜對微結(jié)構(gòu)光纖光柵氫氣傳感特性的影響.使用飛秒激光在布拉格光柵光纖包層加工螺旋微結(jié)構(gòu),將磁控濺射方法制備的不同鈀銀原子比例的合金膜鍍在螺旋微結(jié)構(gòu)表面,研制優(yōu)化鈀銀合金比例的新型微結(jié)構(gòu)布拉格光柵光纖氫氣傳感器.采用掃描電子顯微鏡和能譜儀對Pd-Ag薄膜進行表征和分析,對三種不同鈀銀原子含量(Pd∶Ag=2∶1,4∶1,6∶1)的微結(jié)構(gòu)布拉格光柵光纖探頭進行氫氣傳感測試.在室溫條件下,鈀銀原子比例為4∶1的微結(jié)構(gòu)探頭具有最佳的氫氣傳感性能,鈀銀原子比例為2∶1的微結(jié)構(gòu)探頭響應(yīng)速度最快,但是靈敏度最低.在4%氫氣濃度下,螺旋微結(jié)構(gòu)傳感器的漂移量達到107pm,對比同類型布拉格光柵光纖氫氣傳感器,具有更高的靈敏度和更快響應(yīng)速度.