摘要：針對(duì)線結(jié)構(gòu)光傳感器各項(xiàng)靜態(tài)性能參數(shù)對(duì)其測(cè)量精度影響的問(wèn)題,設(shè)計(jì)了一套線結(jié)構(gòu)光傳感器靜態(tài)性能測(cè)試方案。在高精度移動(dòng)平臺(tái)上使用二級(jí)量塊、納米定位臺(tái)和激光干涉儀,對(duì)傳感器的重要靜態(tài)性能參數(shù),如穩(wěn)定性、重復(fù)性和線性度進(jìn)行了分析,量化了各項(xiàng)靜態(tài)性能參數(shù)對(duì)傳感器測(cè)量精度的影響;以二級(jí)量塊的工作面作為傳感器測(cè)試試驗(yàn)的測(cè)量表面,結(jié)合高精度移動(dòng)平臺(tái)實(shí)現(xiàn)了傳感器全測(cè)量區(qū)域的測(cè)試;使用激光干涉儀對(duì)移動(dòng)平臺(tái)的定位誤差進(jìn)行了補(bǔ)償,提高了測(cè)量結(jié)果的可信度。研究結(jié)果表明:傳感器需1 h的時(shí)間進(jìn)行穩(wěn)定來(lái)保證測(cè)量精度,其測(cè)量區(qū)域的中部重復(fù)性最佳,該區(qū)域重復(fù)性均值為0.418μm;傳感器線性度對(duì)其測(cè)量精度影響最大,由傳感器非線性引起的誤差最大為11.2μm。