摘要：為了改善氟化鈣晶體加工后的表面質(zhì)量、提高加工時(shí)的材料去除率,提出了振動(dòng)輔助固結(jié)磨料拋光氟化鈣晶體的加工方法。利用振動(dòng)與固結(jié)磨料拋光有效結(jié)合,采用正交實(shí)驗(yàn)研究加工工藝參數(shù)對(duì)材料去除率和表面質(zhì)量的影響。結(jié)果表明:振動(dòng)輔助固結(jié)磨料拋光氟化鈣晶體的最優(yōu)工藝參數(shù)為轉(zhuǎn)速40r/min,振動(dòng)頻率40kHz,拋光液pH值9,轉(zhuǎn)速比0.95;在最優(yōu)參數(shù)下拋光氟化鈣晶體的材料去除率為324nm/min,表面粗糙度Sa值為1.92nm;與無振動(dòng)輔助的固結(jié)磨料拋光相比,材料去除率提高了57%,表面粗糙度降低了35%。研究表明:振動(dòng)輔助能夠利用空化作用及規(guī)律化間歇性接觸,在固結(jié)磨料拋光中提高材料去除率及表面質(zhì)量。