摘要：壓電微音叉與鎢探針結(jié)合,構(gòu)成SPM(掃描探針顯微鏡)的掃描測頭。將雙測頭對稱置于微球的赤道圓截面處,構(gòu)成微球球度差動測量系統(tǒng)。通過視覺引導(dǎo)系統(tǒng)對雙測頭進(jìn)行粗對準(zhǔn),用視頻顯微鏡對微球和測頭分別聚焦,拍攝多組照片,然后對對準(zhǔn)圖像進(jìn)行小波分析邊緣檢測及多圖像融合處理,再將圖像處理結(jié)果反饋到系統(tǒng)進(jìn)行精確對準(zhǔn)。在實際實驗中,獲得了該對準(zhǔn)方法下微球赤道圓截面的測量結(jié)果,并分析了對準(zhǔn)誤差對系統(tǒng)測量結(jié)果帶來的影響。