摘要：二氧化碳(CO2)不僅是一種重要的溫室氣體,也是具有危害性的窒息性氣體,因此發(fā)展小型化、高靈敏度的CO2濃度傳感器對無人機載、探空球等探測大氣CO2以及在空間封閉環(huán)境的CO2濃度監(jiān)測等領域具有較大的應用需求。開展了基于2.0μm可調(diào)諧半導體激光器的CO2傳感研究,搭建了CO2探測實驗系統(tǒng)。系統(tǒng)以4989.97 cm^-1處的CO2吸收譜線為研究對象,采用微小型離軸石英音叉增強型光聲光譜新技術對CO2氣體傳感進行研究。通過優(yōu)化調(diào)制頻率和調(diào)制振幅等參數(shù),確定了CO2傳感系統(tǒng)的最佳參數(shù)。在最優(yōu)實驗參數(shù)條件下對CO2氣體進行探測,獲得系統(tǒng)的最小探測靈敏度為142μL/L,最小歸一化等效噪聲吸收系數(shù)為3.37×10^-8cm^-1W/Hz^1/2。