摘要：為提高二極管雪崩擊穿電流耐量,從斜角終端入手進(jìn)行分析研究,利用Silvaco TCAD仿真軟件對正、負(fù)斜角終端P+PNN+結(jié)構(gòu)二極管雪崩擊穿電流的分布進(jìn)行了仿真分析。仿真結(jié)果表明,當(dāng)發(fā)生雪崩擊穿時,正斜角結(jié)構(gòu)二極管的雪崩擊穿電流集中在體內(nèi),負(fù)斜角結(jié)構(gòu)二極管的則主要發(fā)生在邊緣處,從而證明正斜角終端更有利于提高二極管的雪崩電流耐量。實(shí)驗(yàn)結(jié)果中正斜角結(jié)構(gòu)的雪崩電流值明顯大于負(fù)斜角結(jié)構(gòu)的數(shù)值,測試結(jié)果與仿真分析的預(yù)測一致,說明將負(fù)斜角改為正斜角是提高二極管雪崩電流耐量的有效技術(shù)措施。