摘要:采用XH0180.35μmCMOS工藝設(shè)計了一種應(yīng)用于磁阻角度傳感器的SigmaDelta調(diào)制器.由于實(shí)際運(yùn)放的增益都是有限的,使得開關(guān)電容積分器的信號傳輸函數(shù)的極點(diǎn)發(fā)生偏移,進(jìn)而影響ADC精度,本文采用有限增益補(bǔ)償技術(shù)減小運(yùn)放增益對開關(guān)電容積分器的影響.該調(diào)制器采用兩階1bit全反饋結(jié)構(gòu),信號帶寬12KHz,采樣頻率6.25MHz.后仿結(jié)果表明,在2.5V電源電壓下,調(diào)制器的整體功耗為4mW.核心電路版圖尺寸為0.45mm×0.3mm.在-40℃~150℃,各個工藝角的ENOB≥16.5bit.FOM=165.
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