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一種應(yīng)用于角度傳感器的Sigma Delta ADC設(shè)計

作者:周志興; 來強(qiáng)濤; 姜宇; 郭江飛; 王成龍; 陳騰; 郭桂良 中國科學(xué)院微電子研究所; 北京100029; 中國科學(xué)院大學(xué); 北京100049; 中國科學(xué)院大學(xué)微電子學(xué)院; 北京100029

摘要:采用XH0180.35μmCMOS工藝設(shè)計了一種應(yīng)用于磁阻角度傳感器的SigmaDelta調(diào)制器.由于實(shí)際運(yùn)放的增益都是有限的,使得開關(guān)電容積分器的信號傳輸函數(shù)的極點(diǎn)發(fā)生偏移,進(jìn)而影響ADC精度,本文采用有限增益補(bǔ)償技術(shù)減小運(yùn)放增益對開關(guān)電容積分器的影響.該調(diào)制器采用兩階1bit全反饋結(jié)構(gòu),信號帶寬12KHz,采樣頻率6.25MHz.后仿結(jié)果表明,在2.5V電源電壓下,調(diào)制器的整體功耗為4mW.核心電路版圖尺寸為0.45mm×0.3mm.在-40℃~150℃,各個工藝角的ENOB≥16.5bit.FOM=165.

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微電子學(xué)與計算機(jī)

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