摘要：文章提出了一種基于DVD原理的非接觸光學(xué)聚焦探頭，它由商用DVD讀取頭改裝而成，已經(jīng)完成設(shè)計與制作。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明，此非接觸探頭分辨率優(yōu)于lnm，測量重復(fù)性可達(dá)12nm。目前此非接觸觸發(fā)探頭已應(yīng)用于納米三坐標(biāo)測量機(jī)上。