摘要：考慮基底效應(yīng)的影響,將壓電應(yīng)變系數(shù)與壓電應(yīng)力常數(shù)的關(guān)系式作為補(bǔ)充方程,通過(guò)有限元法結(jié)合納米壓痕法估算了橫觀各向同性0.85Na_（0.5）Bi_（0.5）TiO_3-0.15K_（0.5）Bi_（0.5）TiO_3（BNKT）薄膜的壓電應(yīng)力常數(shù).在正向分析中,通過(guò)無(wú)量綱分析和有限元模擬,得到最大壓痕荷載、加載曲線指數(shù)與BNKT薄膜壓電應(yīng)力常數(shù)之間的無(wú)量綱方程.在反向分析中,利用納米壓痕實(shí)驗(yàn)得到沉積在硅基底上BNKT薄膜的壓痕曲線,將實(shí)驗(yàn)數(shù)曲線中的最大壓痕荷載和加載曲線指數(shù)代入正向分析建立的無(wú)量綱方程,聯(lián)立補(bǔ)充方程進(jìn)行求解,得到多組不同誤差下的解,取誤差最小時(shí)相應(yīng)的解e_（15）=0.28 C/m^2,e_（31）=7.72 C/m^2,e_（33）=18.26C/m^2為BNKT薄膜的壓電應(yīng)力常數(shù).