摘要：在微波管研制過程中,電子槍真空除氣過程的主要作用是對(duì)陰極進(jìn)行加熱,獲得燈絲電流電壓與溫度的關(guān)系曲線、檢驗(yàn)電子槍正常工作時(shí)燈絲的電流電壓,測(cè)試電子槍快速啟動(dòng)參數(shù),測(cè)量陰極、聚束極熱膨脹量和陰極高溫時(shí)電子槍材料充分預(yù)蒸散從而減少電子槍的蒸散物。根據(jù)微波管電子槍結(jié)構(gòu)特點(diǎn)和性能要求,設(shè)計(jì)和開發(fā)了極限真空度2×10-7Pa且具有溫度、膨脹量等性能測(cè)試功能的雙工位電子槍真空除氣系統(tǒng)。除氣系統(tǒng)由直聯(lián)泵作為前級(jí)泵、分子泵和離子泵為主泵構(gòu)成超高真空系統(tǒng),采用閥門的切換可實(shí)現(xiàn)兩工位在超高真空度下同時(shí)工作且互不干擾,有效提升了電子槍的品質(zhì),縮短了研制進(jìn)度。每個(gè)工位均配置'分子泵啟動(dòng)允許'、'離子泵啟動(dòng)允許'、'分解電源開允許'及'真空異常'指示燈,防止誤操作對(duì)電子槍部件或除氣系統(tǒng)帶來損壞。測(cè)試結(jié)果表明微波管電子槍真空除氣系統(tǒng)的工作原理、結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理,性能優(yōu)良,適用于不同型號(hào)微波管電子槍,在電子槍研制生產(chǎn)過程中發(fā)揮了重要的作用。