摘要:非球面的精密檢測(cè)中,需要使用到高質(zhì)量的相位補(bǔ)償器件,補(bǔ)償元件的質(zhì)量對(duì)檢測(cè)結(jié)果的精度有直接影響。本文針對(duì)一拋物面透鏡,設(shè)計(jì)了一個(gè)計(jì)算全息板。重點(diǎn)分析了計(jì)算全息板在制造過(guò)程中存在的各種誤差的影響,分別從整體條紋移動(dòng)、單個(gè)條紋定位偏差、占空比改變?nèi)齻€(gè)方面分析了在誤差影響下,對(duì)誤差引起的光場(chǎng)畸變進(jìn)行了計(jì)算。結(jié)果表明,計(jì)算全息板的邊緣處的加工誤差帶來(lái)的影響大于中心部分,要讓通過(guò)計(jì)算全息板后光場(chǎng)分布的誤差均方根值控制在10^-4這個(gè)量級(jí),條紋加工誤差不超過(guò)1 μm。
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